表面热处理对合结40Cr圆钢的表面形貌没有明显影响,合结40Cr圆钢场发射特性的变化可能与表面负电子亲和势有关,未进行热处理的样品阚值电场较低,可能归因子表面负电子立方氮化硼(CBN)作为新型材料正在广泛应用,已经被越来越多的专家学者所关注。随着沉积温度的降低,合结40Cr圆钢对应的峰位向低波数方向偏移的现象表明低温下生长的c-BN薄膜内应力较小。探讨了合结40Cr圆钢产生此现象的原因。用RF磁控溅射的方法在最佳沉积条件下在Si(100)基底上沉积了纳米氮化硼薄膜,然后对薄膜在真空度低于5×10-4pa、温度分别为800℃和1000℃条件下进行了表面热处理,分别用红外光谱、原子力显微镜以及不同退火温度的场发射试验对薄膜进行了研究。
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